碳分子筛制氮机
碳分子筛(Carbon Molecular Sieving — CMS)是一种以煤为主要原料经过特殊加工而成的，黑色表面充满微孔的颗粒，是一种半永久性吸附剂（可再生使用）。它对氧和氮的分离作用主要基于这两种气体在碳分子筛表面上的扩散速率不同，较小直径的气体分子（O2）扩散较快，较多地进入分子筛固相（微孔），较大直径的气体分子（N2）扩散较慢，进入分子筛固相较少，这样在气相中就可得到氮的富集成份。
　　因此利用碳分子筛对氧和氮在某一时间内吸附量的差别这一特性，由微机按特定的程序，结合加压吸附、减压脱附的快速循环过程（变压吸附），完成氧氮分离，从而在气相中获得高纯度的氮气。
　　成套制氮机机组，一般由以下几部分组成：
　　（1）空压机
（2）过滤器
　　（3）制氮机
　　（4）储气罐
　　（5）干燥机
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