空气经空气过滤器铲除尘埃和机械杂质后进入空气紧缩机，紧缩至所需压力，经严厉的除油、除水、除尘净化处置，输出洁净的紧缩空气，意图是保证吸附塔内分子筛的运用寿命。装有碳分子筛的吸附塔共有二个，一个塔作业时，另一个塔则减压脱附。洁净空气进入作业吸附塔，经过分子筛时氧、二氧化碳和水被其吸附，流至出口端的气体就是氮气及微量的氩和氧。另一塔（脱附塔）使已吸附的氧气、二氧化碳和水从分子筛微孔中脱离排至大气中。这样两塔轮流进行，完结氮氧别离，接连输出氮气。

空气净化系统由冷干机及三级过滤器及一支除油器组成，通过冷冻除湿以及过滤器由粗到精地将紧缩空气中的液态水、油、及尘土过滤洁净，使紧缩空气压力露点降到2～10℃，含油量降至0.001PPm，尘土过滤到0.01μm，保证了进入PSA制氮机材料气的洁净。